В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники.
Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Интереснейшая книга для специалистов. Много подробной информации по современному оборудованию полупроводниковой индустрии, и физических принципах работы, также достоинство книги в том, что к каждой теме приведены множество ссылок на соответствующую литературу.
Отзывы 1