Читайте только на Литрес

Raamatut ei saa failina alla laadida, kuid seda saab lugeda meie rakenduses või veebis.

Основной контент книги Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Tekst PDF

Maht 285 lehekülge

2013 aasta

12+

Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

Читайте только на Литрес

Raamatut ei saa failina alla laadida, kuid seda saab lugeda meie rakenduses või veebis.

Pole müügil

Raamatust

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 4 на основе 3 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 5 на основе 1 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 3,4 на основе 5 оценок
Logi sisse, et hinnata raamatut ja jätta arvustus
Raamat А. И. Мочалова, Е. В. Данилкина jt «Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие» — loe veebis. Jäta kommentaare ja arvustusi, hääleta lemmikute poolt.
Vanusepiirang:
12+
Ilmumiskuupäev Litres'is:
31 juuli 2014
Kirjutamise kuupäev:
2013
Objętość:
285 lk
ISBN:
978-5-9963-2129-2
Üldsuurus:
5.2 МБ
Lehekülgede koguarv:
285