Raamatut ei saa failina alla laadida, kuid seda saab lugeda meie rakenduses või veebis.
Maht 102 lehekülge
2022 aasta
0+
Raamatut ei saa failina alla laadida, kuid seda saab lugeda meie rakenduses või veebis.
Raamatust
Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».