Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций
PDFMärgi loetuks
Kuidas lugeda raamatut pärast ostmist
- Lugemine ainult LitRes “Loe!”
- Maht: 123 lk.
- Žanr: Õppejuhendid, ElektroonikaMuuda
Raamatu kirjeldus
В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки материалов электронной техники, так и специфические, связанные с применением возникающих факторов при взаимодействии ускоренных ионов с твердым телом. Особое внимание уделено использованию возникающего ионно-индуцированного тока в многослойных наноразмерных гетероструктурах и вторичной ионно-электронной эмиссии при ионном воздействии на материалы.
Täpsemad andmed
- Vanusepiirang:
- 0+
- Lisatud LitResi:
- 29 märts 2018
- Kirjutamiskuupäev:
- 2012
- Maht:
- 123 lk.
- Kogusuurus:
- 23 MB
- Lehekülgi kokku:
- 123
- Lehekülje mõõdud:
149 x 210 мм
- Copyright:
- МИСиС
"Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций" — loe veebis tasuta üht katkendit raamatust. Kirjutage kommentaare ja ülevaateid, hääletage oma lemmiku poolt.
Оставьте отзыв
Отзывы