Основной контент книги Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
Tekst PDF
Maht 142 leheküljed
2007 aasta
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
€5,14
Raamatust
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.
Žanrid ja sildid
Logi sisse, et hinnata raamatut ja jätta arvustus
Raamat Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова jt «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы» — loe veebis. Jäta kommentaare ja arvustusi, hääleta lemmikute poolt.
Vanusepiirang:
0+Ilmumiskuupäev Litres'is:
29 märts 2018Kirjutamise kuupäev:
2007Objętość:
142 lk Üldsuurus:
18 МБLehekülgede koguarv:
142Õiguste omanik:
МИСиС
