Lugege ainult LitRes'is

Raamatut ei saa failina alla laadida, kuid seda saab lugeda meie rakenduses või veebis.

Основной контент книги Ионно-плазменная обработка материалов
Tekst PDF

Maht 181 lehekülg

2008 aasta

0+

Ионно-плазменная обработка материалов

Lugege ainult LitRes'is

Raamatut ei saa failina alla laadida, kuid seda saab lugeda meie rakenduses või veebis.

€6,27

Raamatust

В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов при различных способах вакуум-плазменных процессов. Обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные случаи повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Приводятся примеры использования ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники.

Logi sisse, et hinnata raamatut ja jätta arvustus
Raamat Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова «Ионно-плазменная обработка материалов» — loe veebis. Jäta kommentaare ja arvustusi, hääleta lemmikute poolt.
Vanusepiirang:
0+
Ilmumiskuupäev Litres'is:
28 märts 2018
Kirjutamise kuupäev:
2008
Objętość:
181 lk
Üldsuurus:
3.2 МБ
Lehekülgede koguarv:
181
Õiguste omanik:
МИСиС
Audio
Keskmine hinnang 4,9, põhineb 84 hinnangul
Tekst
Keskmine hinnang 4,9, põhineb 336 hinnangul
Audio
Keskmine hinnang 4,5, põhineb 240 hinnangul
Tekst, helivorming on saadaval
Keskmine hinnang 4,7, põhineb 539 hinnangul
Tekst
Keskmine hinnang 4,3, põhineb 288 hinnangul
Tekst, helivorming on saadaval
Keskmine hinnang 4,9, põhineb 1935 hinnangul
Tekst, helivorming on saadaval
Keskmine hinnang 4,7, põhineb 401 hinnangul