Читайте только на Литрес

Raamatut ei saa failina alla laadida, kuid seda saab lugeda meie rakenduses või veebis.

Основной контент книги Ионно-плазменная обработка материалов
Tekst PDF

Maht 181 lehekülge

2008 aasta

0+

Ионно-плазменная обработка материалов

Читайте только на Литрес

Raamatut ei saa failina alla laadida, kuid seda saab lugeda meie rakenduses või veebis.

€7,08

Raamatust

В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов при различных способах вакуум-плазменных процессов. Обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные случаи повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Приводятся примеры использования ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники.

Logi sisse, et hinnata raamatut ja jätta arvustus
Raamat Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова «Ионно-плазменная обработка материалов» — loe veebis. Jäta kommentaare ja arvustusi, hääleta lemmikute poolt.
Vanusepiirang:
0+
Ilmumiskuupäev Litres'is:
28 märts 2018
Kirjutamise kuupäev:
2008
Objętość:
181 lk
Üldsuurus:
3.2 МБ
Lehekülgede koguarv:
181
Õiguste omanik:
МИСиС