Технологии субмикронных структур микроэлектроники

PDF
Autor:
Märgi loetuks
Kuidas lugeda raamatut pärast ostmist
Raamatu kirjeldus

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники.

Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.

Täpsemad andmed
Vanusepiirang:
0+
Lisatud LitResi:
06 märts 2019
Kirjutamiskuupäev:
2018
Maht:
273 lk.
ISBN:
978-985-08-2298-7
Kogusuurus:
8 MB
Lehekülgi kokku:
273
Lehekülje mõõdud:
180 x 260 мм
Toimetaja:
А. П. Достанко
Copyright:
Издательский дом “Белорусская наука”
Raamat "Технологии субмикронных структур микроэлектроники" — laadige alla pdf või lugege tasuta. Kirjutage kommentaare ja ülevaateid, hääletage oma lemmiku poolt.

Отзывы 1

Сначала популярные
nanocompiler000 nanocompiler000

Белоруссия и город Минск, вместе с Зеленоградом и Воронежем, являлись регионами бывшего СССР с развитой электронной промышленностью. Например, предприятие Изовак. От разработки и производства интегральных микросхем – ИМС (БИС, СБИС), до производства технологического оборудования для проведения технологических процессов для изготовления микроструктур ИМС. Один из рецензентов этой книги – знаменитый академик НАН Белоруссии В.А. Лабунов – предложил ещё в 1980-е году принятую сейчас повсеместно концепцию кластерного производства ИМС – «бочка Лабунова». При кластерном построении технологического оборудования и технологического маршрута обрабатываемой подложки в нём, организуется замкнутая вакуумная транспортная система, обеспечивающая роботизированное перемещение обрабатываемой подложки ИМС между технологическими и аналитическими модулями в химически чистой вакуумной среде из которой убрана внешняя атмосфера и, самый главный загрязнитель, человек, то есть его пот, дыхание, слёзы – источник натрия (Na) и вредной загрязняющей органики. Кластерное технологическое оборудование разработки и производства белорусского предприятия Изовак продаётся через совместное предприятие на Тайване в КНР, где используется для формирования многослойных прозрачных диэлектрических слоёв на стёклах для смартфонов и айфонов, которыми, в свою очередь, все мы пользуемся. Материал, изложенный в этой книге в высшей степени достоверен и актуален. И ещё долго останется таким достоверным и актуальным. Для всех, кто занимается исследованием, разработкой и развитием производства микроструктур и наноструктур ИМС, эта книга очень полезна.

Оставьте отзыв