Основной контент книги Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Tekst PDF
Maht 69 lehekülgi
2013 aasta
Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
€1,28
Raamatust
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
Logi sisse, et hinnata raamatut ja jätta arvustus
Raamat «Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники» — loe veebis. Jäta kommentaare ja arvustusi, hääleta lemmikute poolt.
Vanusepiirang:
0+Ilmumiskuupäev Litres'is:
16 jaanuar 2016Kirjutamise kuupäev:
2013Objętość:
69 lk ISBN:
978-5-7038-3729-0Üldsuurus:
2.9 МБLehekülgede koguarv:
69Õiguste omanik:
МГТУ им. Н.Э. Баумана
