Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

PDF
Märgi loetuks
Kuidas lugeda raamatut pärast ostmist
  • Lugemine ainult LitRes “Loe!”
Raamatu kirjeldus

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

Täpsemad andmed
Vanusepiirang:
0+
Lisatud LitResi:
16 jaanuar 2016
Kirjutamiskuupäev:
2013
Maht:
69 lk.
ISBN:
978-5-7038-3729-0
Kogusuurus:
2 MB
Lehekülgi kokku:
69
Lehekülje mõõdud:
148 x 210 мм
Copyright:
МГТУ им. Н.Э. Баумана
"Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники" — loe veebis tasuta üht katkendit raamatust. Kirjutage kommentaare ja ülevaateid, hääletage oma lemmiku poolt.

Отзывы

Сначала популярные

Оставьте отзыв