Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра

PDF
Märgi loetuks
Kuidas lugeda raamatut pärast ostmist
  • Lugemine ainult LitRes “Loe!”
Raamatu kirjeldus

Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника». Ил. 17. Табл. 8.

Täpsemad andmed
Vanusepiirang:
0+
Lisatud LitResi:
16 jaanuar 2016
Kirjutamiskuupäev:
2006
Maht:
51 lk.
ISBN:
5-7038-2926-7
Kogusuurus:
2 MB
Lehekülgi kokku:
51
Lehekülje mõõdud:
143 x 201 мм
Copyright:
МГТУ им. Н.Э. Баумана
"Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра" — loe veebis tasuta üht katkendit raamatust. Kirjutage kommentaare ja ülevaateid, hääletage oma lemmiku poolt.

Отзывы

Сначала популярные

Оставьте отзыв