Читайте только на Литрес

Raamatut ei saa failina alla laadida, kuid seda saab lugeda meie rakenduses või veebis.

Основной контент книги Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами
Tekst PDF

Raamatu kestus 46 lehekülge

2013 aasta

0+

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами

Читайте только на Литрес

Raamatut ei saa failina alla laadida, kuid seda saab lugeda meie rakenduses või veebis.

€1,72

Raamatust

Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».

Logi sisse, et hinnata raamatut ja jätta arvustus
Raamat С. Ю. Юрчука «Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами» — loe veebis. Jäta kommentaare ja arvustusi, hääleta lemmikute poolt.
Vanusepiirang:
0+
Ilmumiskuupäev Litres'is:
29 märts 2018
Kirjutamise kuupäev:
2013
Objętość:
46 lk
Üldsuurus:
8.3 МБ
Lehekülgede koguarv:
46
Õiguste omanik:
МИСиС
Высшая алгебра. Учебник для вузов
Иван Павлович Шестаков jt
Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst
Средний рейтинг 5 на основе 3 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Tekst PDF
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок