Lugege ainult LitRes'is

Raamatut ei saa failina alla laadida, kuid seda saab lugeda meie rakenduses või veebis.

Основной контент книги Формирование функциональных слоев
Tekst PDF

Maht 92 leheküljed

2020 aasta

0+

Формирование функциональных слоев

Lugege ainult LitRes'is

Raamatut ei saa failina alla laadida, kuid seda saab lugeda meie rakenduses või veebis.

€1,69

Raamatust

Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».

Logi sisse, et hinnata raamatut ja jätta arvustus
Raamat «Формирование функциональных слоев» — loe veebis. Jäta kommentaare ja arvustusi, hääleta lemmikute poolt.
Vanusepiirang:
0+
Ilmumiskuupäev Litres'is:
27 juuni 2023
Kirjutamise kuupäev:
2020
Objętość:
92 lk
ISBN:
978-5-7038-5350-4
Üldsuurus:
11 МБ
Lehekülgede koguarv:
92
Õiguste omanik:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Tekst PDF
Keskmine hinnang 0, põhineb 0 hinnangul
Tekst PDF
Keskmine hinnang 0, põhineb 0 hinnangul
Tekst PDF
Keskmine hinnang 0, põhineb 0 hinnangul
Tekst
Keskmine hinnang 5, põhineb 1 hinnangul