Читайте только на Литрес

Raamatut ei saa failina alla laadida, kuid seda saab lugeda meie rakenduses või veebis.

Основной контент книги Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем
Tekst PDF

Maht 129 lehekülge

2023 aasta

0+

Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем

Учебное пособие
Читайте только на Литрес

Raamatut ei saa failina alla laadida, kuid seda saab lugeda meie rakenduses või veebis.

€1,95

Raamatust

Пособие составлено на базе 40-летнего личного опыта работы автора на отечественных и зарубежных предприятиях микроэлектронной отрасли. Рассмотрена совокупность вопросов организации и использования в серийном производстве субмикронных интегральных микросхем (ИМС) методов непосредственного производственного (in-line) контроля тонкопленочных материалов основы современных ИМС. Приведены примеры приборов контроля и возможностей их применения для характеризации процессов получения и свойств тонких пленок. Рассмотрены решения технологических задач с помощью in-line методов на примере важнейшего узла ИМС – диэлектрической планаризируемой изоляции между транзисторным уровнем (FEOL) и первым уровнем металлизации (BEOL) микросхем. Проанализирован подход к квалификации технологических процессов/оборудования для создания тонких пленок в производстве, изложены примеры проведения исследований технологической направленности. Показаны необходимость и возможности использования вместе с in-line методами также методов контроля at-line (в лабораториях вне производства) и off-line (в специализированных аналитических организациях). В пособии использованы и пояснены многочисленные англоязычные термины, принятые в технологиях и производстве интегральных микросхем.

Материал пособия может быть рекомендован для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Рекомендуется для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологии.

Logi sisse, et hinnata raamatut ja jätta arvustus
Raamat В. Ю. Васильева «Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем» — loe veebis. Jäta kommentaare ja arvustusi, hääleta lemmikute poolt.
Vanusepiirang:
0+
Ilmumiskuupäev Litres'is:
21 november 2023
Kirjutamise kuupäev:
2023
Objętość:
129 lk
ISBN:
978-5-7782-4926-4
Üldsuurus:
6.0 МБ
Lehekülgede koguarv:
129
Audio
Средний рейтинг 4,7 на основе 15 оценок
Audio
Средний рейтинг 3,8 на основе 12 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,6 на основе 22 оценок
Audio
Средний рейтинг 3,3 на основе 3 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,3 на основе 64 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,3 на основе 16 оценок