Nanoelektroonika

Notes on the electron-phonon interaction

Технология и оборудование для производства наногетероструктурных солнечных элементов. Лабораторный практикум

Ток Межмолекулярного Взаимодействия

Наноматериалы и наноустройства в радиоэлектронике

Основы технологии источников оптического излучения

Нанотехнологии, наноматериалы, наноэлектроника, нанофотоника в радиоэлектронике

Электро- и оптические свойства диэлектриков

Физические основы электроники и наноэлектроники

Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность. Учебное пособие для вузов

Основы нано- и функциональной электроники. Учебное пособие для СПО

Труды Физико-технологического института. Том 28. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование

Проведение научных экспериментов в наноинженерии

Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2

Вакуумные системы источников синхротронного излучения

Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем

Базовые технологии микро- и наноэлектроники

Физические основы нанотехнологий и наноматериалы

Физика полупроводниковых приборов

Технология интегральных микросхем

Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники

Введение в нанотехнологии и наноэлектронику

Наноэлектроника, нанофотоника и микросистемная техника

Электровакуумные и газоразрядные приборы

Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники