Основной контент книги Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
Tekst PDF
Maht 45 lehekülgi
2020 aasta
Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
€1,35
Raamatust
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
Logi sisse, et hinnata raamatut ja jätta arvustus
Raamat Ю. С. Бобровой «Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум» — loe veebis. Jäta kommentaare ja arvustusi, hääleta lemmikute poolt.
Vanusepiirang:
0+Ilmumiskuupäev Litres'is:
27 juuni 2023Kirjutamise kuupäev:
2020Objętość:
45 lk ISBN:
978-5-7038-5369-6Üldsuurus:
1.5 МБLehekülgede koguarv:
45Õiguste omanik:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
