Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
PDFMärgi loetuks
Kuidas lugeda raamatut pärast ostmist
- Lugemine ainult LitRes “Loe!”
- Maht: 45 lk.
- Žanr: Töötoad, Tehniline kirjandus, Õpikud ja õppematerjalid ülikoolidele, Füüsika
Raamatu kirjeldus
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
Täpsemad andmed
- Vanusepiirang:
- 0+
- Lisatud LitResi:
- 27 juuni 2023
- Kirjutamiskuupäev:
- 2020
- Maht:
- 45 lk.
- ISBN:
- 978-5-7038-5369-6
- Kogusuurus:
- 1 MB
- Lehekülgi kokku:
- 45
- Lehekülje mõõdud:
145 x 205 мм
- Copyright:
- МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
"Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум" — loe veebis tasuta üht katkendit raamatust. Kirjutage kommentaare ja ülevaateid, hääletage oma lemmiku poolt.
Оставьте отзыв
Отзывы